シリカスラリー

GRISH製シリカスラリーは、高純度シリコンパウダーを原材料として、弊社独自の加工技術により製品化された低金属イオン型の研磨液で、ナノレベルの表面仕上げ用として幅広く使われています。主にシリコンウェーハ、化合物半導体、精密光学部品、サファイアウェーハなどの表面仕上げ加工に使われています。

シリカスラリー

GRISH製シリカスラリーは、高純度シリコンパウダーを原材料として、弊社独自の加工技術により製品化された低金属イオン型の研磨液で、ナノレベルの表面仕上げ用として幅広く使われています。主にシリコンウェーハ、化合物半導体、精密光学部品、サファイアウェーハなどの表面仕上げ加工に使われています。pH値によって酸性スラリーとアルカリ性スラリーがあって、お客様の用途やご要望に合った最適な製品をご提案することが可能です。


仕様

アルカリ性

品番(pH:9.8±0.5)

SOQ-2ASOQ-4ASOQ-6ASOQ-8ASOQ-10ASOQ-12D

酸性

品番(pH:2.8±0.5)

ASOQ-2AASOQ-4AASOQ-6AASOQ-8AASOQ-10AASOQ-12D
粒径(nm)10~3030~5050~7070~9090~110110~130
外観乳白色或は半透明液体
比重1.15±0.05
組成成分含有量(w%)
SiO215~30
Na2O≤0.3
重金属不純物≤50 ppb


用途:

光ファイバーコネクタ


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