精密研磨パッド
当社の精密研磨パッドは、相互接続された微多孔構造に優れており、高能率、高平坦度、品質安定で、主に半導体材料、ガラス、金属、精密セラミック等の超精密研磨として幅広く使用されています。
仕様
| 項目 | 内容 | 測定方法 |
| 厚み（mm） | 1.4±0.1 | ノギス |
| 硬度 | 60±2 | ショア（A）硬度測定計 |
| 穴深さ（mm） | 0.37 | 顕微鏡×200倍率 |
| 圧縮率（％） | 9 | ー |
| ベルベット長さ（mm） | 0.4±0.05 | 顕微鏡×200倍率 |
| スペック（mm） | Φ（920±2） | テープメジャー |
＊スペックについては、お客様のご要望によりカスタマイズが可能です。
＊溝加工と両面テープ加工については、お気軽にお問合せください。
特徴
◆当社研磨材を併用することで高精度の仕上がりが得られる。
◆高能率、高平坦度。
◆品質安定性に優れ。
◆鏡面仕上げに最適。
用途
◆サファイア、LED材料、SICウェーハ。
◆ステレンス、アルミナ合金などの金属材料
